ASM LVC-414-3 54-107950A15 یک کنترل‌کننده جریان جرمی بخار مایع با دقت بالا است که برای ادغام در تجهیزات پردازش ویفر نیمه‌هادی، به ویژه خوشه‌های ابزار رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب لایه اتمی (ALD) طراحی شده است. این ماژول به عنوان یک زیرمولفه هوشمند عمل می‌کند که جریان جرمی دقیق گازهای حامل را هنگام عبور از حباب‌سازهای شیمیایی برای جمع‌آوری و توزیع مواد ناخالصی پیش‌ساز در محفظه پردازش، به طور دقیق اندازه‌گیری و تنظیم می‌کند. LVC-414-3 که با مسیرهای گاز داخلی مقاوم در برابر مواد شیمیایی با خلوص بالا و یک رابط کنترل آنالوگ/دیجیتال ساخته شده است، از تراکم پیش‌ساز جلوگیری می‌کند، نسبت‌های غلظت بخار به گاز با تکرارپذیری بالا را حفظ می‌کند و یکنواختی فیلم و پایداری فرآیند را در محیط‌های خلاء اتاق تمیز بحرانی تضمین می‌کند.

منبع تغذیه منطقی عملیاتی استاندارد: ±15 ولت DC

رابط ورودی فرمان/نقطه تنظیم: آنالوگ ۰ تا ۵ ولت DC

رابط مانیتورینگ جریان خروجی: آنالوگ 0 تا 5 ولت DC

دمای محیط عملیاتی: ۵ تا ۵۰ درجه سانتیگراد

حداکثر فشار سیستم: 10 بار

استاندارد صحت نشت: ≤ ۱ × ۱۰⁻⁹ اتمسفر·سی‌سی/ثانیه هلیوم

AnyBus (دروازه)

صفحه نمایش فرکانس پایین صنعتی

ماژول ورودی/خروجی از راه دور (RTU)

محصولات جانبی مرتبط با کنترل صنعتی

کامپیوتر صنعتی (IPC)

رابط انسان و ماشین

کنترل‌کننده منطقی قابل برنامه‌ریزی (PLC)

هارد دیسک‌های کم‌ظرفیت برای مصارف صنعتی SCSI

6ES7314-1AF11-0AB0

6ES5460-4UA11

۲۵X۸۱۶۴C۱L ۶

آی‌سی693ALG391

6ED1052-1FB00-0BA6

6ES5460-4UA12

IC754VSI12CTD-KJ

آی سی693MDL753

6SL3210-1KE22-6AP1

6GK7342-5DA03-0XE0

IS210BPPCH1ACA

DS200TCEAG1BTF

6ES7307-1EA00-0AA0

6ES7365-0BA01-0AA0

IS200EPSMG1AED

UMT162-A

6ES7313-6CG04-0AB0

6ES7193-4CB30-0AA0

آی سی 752SPL013

IS200TRPGH1BDE

3TK2824-2BB40

6ES7193-4CE10-0AA0

آی سی 693PWR321AA

IS200TRLYH1BGG

6ES7155-6AU00-0CN0

6ES7350-2AH01-0AE0

IS215VPROH1BE

IS200EPSMG1ADC