Theپال GLFPF3000VMF4یک مجموعه فیلتر گاز درون خطی با خلوص فوق العاده بالا است که به طور خاص برای فیلتراسیون در نقطه استفاده در خطوط گاز فرآیند نیمه هادی و میکروالکترونیکی طراحی شده است. این دستگاه دارای یک محفظه فولاد ضد زنگ 316L الکتروپولیش شده با سطح داخلی عالی برای جلوگیری از ریزش ذرات است. در داخل، یک عنصر فیلتراسیون تمام فلوروپلیمر قرار دارد که سازگاری شیمیایی استثنایی با گازهای تخصصی خنثی، سمی و بسیار خورنده ارائه می‌دهد.

تو رتبه‌بندی‌های الکتریکی: 0 آمپر / 0 ولت

تو حداکثر فشار عملیاتی: 20.7 مگاپاسکال در دمای 121 درجه سانتیگراد

تو حداکثر دمای عملیاتی: ۱۲۱ درجه سانتیگراد (۲۵۰ درجه فارنهایت)

تو پروفایل‌های خروج گاز:

تو اتصال اتصالات: VCR 1/4 اینچی (واشر آب‌بندی)

❖ ساخت ویفر نیمه‌هادی: مستقیماً در محل قرارگیری ابزار (POU) نصب می‌شود تا آلودگی ذرات زیر میکرونی را از گازهای فرآیند رسوب‌گذاری، حکاکی و فوتولیتوگرافی بحرانی حذف کند.

❖ کابینت‌های گاز با خلوص فوق‌العاده بالا (UHP): به صورت یکپارچه در منیفولدهای تحویل گاز فله، پنل‌های پاکسازی و کابینت‌های گاز که گازهای بسیار واکنش‌پذیر، خورنده یا سمی را مدیریت می‌کنند، تعبیه شده‌اند.

❖ ایزولاسیون ابزار دقیق اتاق تمیز: محافظت از کنترل‌کننده‌های جریان جرمی (MFC) با تلرانس دقیق، تنظیم‌کننده‌های فشار و ابزارهای بوکشی تحلیلی در برابر ذرات معلق بالادست.

FS-TSDO-04UNI

F2DO1602

NFBU200-S05 S2

۹۹۰۷-۰۱۸

FS-IOBUS-CPIO

F8650X

NFCCC01

۵۴۳۸-۶۶۷

FC-QPP-0001 نسخه ۱.۳

هایمکس ایکس-سی‌پی‌یو۰۱

AAI135-H00 S1

۵۴۶۲-۹۱۶

FC-USI-0001 نسخه ۱.۳

F60CPU03

CP401-10 S1

۵۴۶۴-۲۱۱

FS-TSGAS-1624

F3 AIO 84 01

NFBU200-S05 S2

۵۴۶۴-۳۳۴

FS-IOBUS-CPIO

Z7126

NFCP100-S05 S3

۵۵۰۱-۳۸۰

۵۱۳۰۵۰۷۲-۶۰۰

هیماتریکس F35 011 30

PW482-51 S2

۸۴۰۰-۰۱۶

۵۱۱۹۶۰۴-۱۰۰

هیماتریکس F35 010 30

ADV551-P50 S2

۵۴۳۷-۶۷۲